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在多晶硅的生產(chǎn)過程中,鹽類廢水處理是一重要的環(huán)節(jié)。
在生產(chǎn)多晶硅的過程中,通常會產(chǎn)生大量的廢氣和殘液。廢氣中主要含有大量的HCI、SiHCls、Cl2、SiCl、H、N等氣體,而殘液中主要含有氯化烷和微量硅粉。
由于氯硅烷極易容易水解,通常采用稀的氫氧化鈉溶液淋洗氯硅烷殘液和氯硅烷氣體,還有少量的氯化氫,使氯硅烷和氯化氫全部水解中和,生成氯化鈉和硅膠的混合物。硅膠在經(jīng)過攪拌機攪拌后通過渣漿泵被送去壓濾機進(jìn)行固液分離操作,濾渣運送到渣場統(tǒng)一堆放。
分離出的硅膠經(jīng)刮板機刮出后送入污泥收集池,之后再用潛水式污泥泵將沉底的硅膠打入到攪拌池內(nèi),經(jīng)攪拌后被送入到壓濾機在進(jìn)行固液的分離。
去除掉硅膠的工業(yè)廢水是鹽類廢水,這些廢水一般呈酸性,酸堿度值大約為2。
廢水經(jīng)過酸堿中和,之后經(jīng)蒸發(fā),結(jié)晶,過濾把鹽類提取出來。經(jīng)過處理后的水會返回到生產(chǎn)中循環(huán)使用。
在鹽類廢水處理時常用薄膜蒸發(fā)器,三效蒸發(fā)器和四效蒸發(fā)器等設(shè)備用于鹽類的蒸發(fā)濃縮,利用蒸發(fā)濃縮的原理,將廢水中的水分蒸發(fā)掉,鹽類中NaCl顆粒結(jié)晶析出,在經(jīng)過過濾操作使廢水和NaCl分離。蒸發(fā)出來的水蒸氣外排掉或者經(jīng)過冷凝回流到生產(chǎn)裝置中實現(xiàn)循環(huán)利用。